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瑞辉智能磐石平台架构分析,关于半导体加工系统的应用

2023-04-22

作为半导体硅晶圆加工管理系统的有效助手,瑞辉智能的磐石平台功能显著,跨平台、模块化、插件化、定制化管理等等,是瑞辉智能对于半导体行业,这一当下热门行业的强大助力。


今天我们就简单介绍一下瑞辉智能平台架构,带大家继续了解关于这一项半导体加工生产管理系统。


磐石平台架构七大功能分析:

GUI, CTC, FA, CM等等七大功能,是瑞辉智能磐石平台的主要服务。

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GUI人机交互界面

可以对操作进行界面化管理,实现直观、实时、易用的功能特点,便于及时监控、预防报警、故障处理,满足多样化系统管理和控制。


CTC:生产计划和调度

磐石可以优化生产流程、提高生产效率和产品质量,减少生产缺陷和废品率,同时实现资源的合理配置,从而增强企业的竞争力。


FA:工厂自动化

对于半导体行业而言,智能化和自动化的功能不可缺少。磐石系统可以帮助人工智能和大数据的转型技术,实现云计算,对于生产加工的数字化转型有准确辅助方向。


CM:晶舟模块单元

作为半导体加工的重要组成模块,晶舟模块主要用于硅晶圆的飞行控制和转移,对于精确控制硅晶圆位置,保障精确度和准确性,实现自动化生产和物料配给有重要作用。


PM:工艺管理模块

磐石平台可以对不同的生产工艺进行分析和优化,减少生产缺陷和废品率,提高生产效益和产品质量。


RCP:配方管理

配方录入可以保障生产所需原材料的准确无误;配方修改可以辅助加工生产过程中的配方计划修改,提高稳定性和准确性;版本管理、生产监控、可以及时调整生产计划,处理预见问题。


LPRC:远程过程调用

远程过程调用功能,可以辅助半导体生产管理系统实现分布计算的功能,例如在集群中的多个节点之间共享数据、协调任务、调度作业等。在RPC的帮助下,它可以像调用本地子程序一样进行操作,而不必关心子程序的实际位置和运行方式。


综合而言,瑞辉智能的磐石平台,在功能架构上是比较全面的,为半导体加工系统,行业生产管理的智能化、自动化、灵活性、可扩展性发展,提供着自己的成果展示。

 



本文地址:http://www.msnbrh.com/news/IndustryNews/1171.html
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